据介绍，干式真空泵是IC配备职业清洗真空取得设备，也是保障职业开展的主要配备。因为IC配备洁净真空环境取得技能集成了淡薄气体流体力学、真空技能、微电子配备、精细流体机械加工技能、自动控制技能等多个学科的前沿高新技能，工业技能门槛高，长期以来干式真空泵的研制与出产一向被英国爱德华、德国普发等几家世界跨国公司所独占。但是，因为过度依靠进口，对中国芯片工业链自给安全构成严重威胁。
东北大学机械工程与自动化学院巴德纯教授与中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司协作，在国家科技严重专项、国家863等项目支持下，带干式真空泵领课题组成员从淡薄气体运送原理、多物理场耦合办法、工作态环境模拟技能和工程实践使用等四个视角进行了二十年系统深化的自立研制和技能创新，建立和开展了面向干泵类商品的多维度、工作态集成规划的新办法，搭建了干泵理论剖析规划平台，处理了长期困扰国产干泵的技能瓶颈。
取得干式真空泵理论与技能的打破后，课题组乘势而上，先后开发了多个具有自立知识产权的干式真空泵（机组）。商品经北京微电子、北京中科信、湖南红太阳等国内要点用户的集成电路出产线使用后，得到了公司的广泛好评。实践中发现，东北大学真空泵（机组）均匀单次抽真空能耗下降26.7%，真空稳定性提高了一个数量级，商品可靠性提升了21.2%，设备的均匀保护周期延长了近一倍。商品的使用为公司带来了可观的经济效益，近四年新增赢利累计1.003亿元，新增税收0.153亿元，增收节支总额1.493亿元。
通过国家真空设备质量监督查验基地的检查，干式真空泵以及北方微电子等国内要点用户的使用验证，东北大学具有自立知识产权的10余种干式真空泵在典型的IC配备技术中具有较好的使用，抽速、噪声、极限真空度、可靠性等核心技能目标达到了国外同类商品的先进水平，但价格仅为对方的70%摆布，具有较强的市场竞争力。