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据介绍，干式真空泵是IC配备职业清洁真空取得设备，也是保证职业开展的主要配备。因为IC配备洁净真空环境取得技能集成了淡薄气体流体力学、真空技能、微电子配备、精细流体机械加工技能、自动控制技能等多个学科的前沿高新技能，工业技能门槛高，长期以来干式真空泵的研制与生产一向被英国爱德华、德国普发等几家国际跨国公司所独占。但是，因为过度依赖进口，对中国芯片工业链自给安全构成严重威胁。

　　东北大学机械工程与自动化学院巴德纯教授与中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司协作，在国家科技严重专项、国家863等项目支持下，带领课题组成员从淡薄气体运送原理、多物理场耦合办法、运转态环境模拟技能和工程实践使用等四个视角进行了二十年系统深入的自立研制和技能创新，树立和开展了面向干式真空泵类产品的多维度、运转态集成规划的新办法，搭建了干泵理论剖析规划渠道，解决了长期困惑国产干泵的技能瓶颈。

　　以清华大学贾培发教授为主任，很多干式真空泵技能专家组变成组员的查验委员会一致以为，项目“完成转子型线剖析、优化规划和泵内流场理论剖析，并搭建了干泵的规划渠道（理论有些），辅导干泵的规划”，达到了国际先进水平。

　　经过国家真空设备质量监督查验基地的检查，以及北方微电子等国内要点用户的使用验证，东北大学具有自立知识产权的10余种干式真空泵在典型的IC配备技术中具有较好的使用，抽速、噪声、极限真空度、可靠性等核心技能目标达到了国外同类产品的先进水平，但价格仅为对方的70%摆布，具备较强的市场竞争力。