产品分类

      过去， 人们在了各种的半导体的工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以了悬片式的真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在了各种的应用中的表现越来越不能使人们感到满意。因此，干式真空泵的应运而生。在过去了的十多年里了，有好几种的不同类型的干式真空泵被设计了和生产出来，它们在机械的结构设计上有明显差异。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为了以下的几种类型：圆裂片式，爪式，组合式（罗茨＋爪），螺杆式。当今，这些类型被不同的生产的厂家所广泛的应用。

    干式真空泵机器不会动 没有接上电源  电压不足  电容器故障  线路接错  马达故障  马达温控开关跳脱  周围环境太高  管路内有背压   检查电源  检查电压  检查电容器，必要时更换它  检查线路  送回检修  等马达温度降低后，再激活运转  改善通风效果  消除管路内背压或改采可再次激活机型之空压机式真空泵浦    

    二、干式真空泵真空度或压力不足   管路有漏  空气过滤器因太脏而阻塞  机器汽缸内之油封垫片破损  活塞环(cup)太脏或破损  处理非一般性气体  金属阀片破损   检查并填补漏气的地方  清理或更换滤心  更换油封垫片  清理或更换活塞环(cup)  只能处理一般性气体  更换金属阀片    

    三、干式真空泵噪音太高 轴承损坏  金属阀片毁损  消音器不适用  活塞环(cup)毁损  机器震动严重   更换轴承  更换金属阀片  选用适当的消音器  更换活塞环(cup)  使用适当防震脚垫以减少震动