公司新闻/Company News
解析干式真空泵的研发新工艺
据介绍，干式真空泵是IC装备工作清洁真空获得设备，也是保证工作展开的首要装备。由于IC装备洁净真空环境获得技术集成了淡漠气体流体力学、真空技术、微电子装备、精密流体机械加工技术、自动控制技术等多个学科的前沿高新技术，工业技术门槛高，长时间以来干式真空泵的研发与出产一贯被英国爱德华、德国普发等几家国际跨国公司所独占。但是，由于过度依托进口，对我国芯片工业链自给安全构成严峻威胁。
东北大学机械工程与自动化学院巴德纯教授与我国科学院沈阳科学仪器股份有限公司协作，在国家科技严峻专项、国家863等项目支持下，带干式真空泵领课题组成员从淡漠气体运送原理、多物理场耦合方法、工作态环境模拟技术和工程实习运用等四个视角进行了二十年体系深化的自立研发和技术立异，树立和展开了面向干泵类产品的多维度、工作态集成计划的新方法，搭建了干泵理论剖析计划渠道，处理了长时间困扰国产干泵的技术瓶颈。
获得干式真空泵理论与技术的打破后，课题组乘势而上，先后开发了多个具有自立知识产权的干式真空泵（机组）。产品经北京微电子、北京中科信、湖南红太阳等国内关键用户的集成电路出产线运用后，得到了公司的广泛好评。实习中发现，东北大学真空泵（机组）均匀单次抽真空能耗降低26.7%，真空稳定性提高了一个数量级，产品可靠性提升了21.2%，设备的均匀维护周期延长了近一倍。产品的运用为公司带来了可观的经济效益，近四年新增获利累计1.003亿元，新增税收0.153亿元，增收节支总额1.493亿元。
通过国家真空设备质量监督查验基地的查看，干式真空泵以及北方微电子等国内关键用户的运用验证，东北大学具有自立知识产权的10余种干式真空泵在典型的IC装备技术中具有较好的运用，抽速、噪声、极限真空度、可靠性等核心技术方针达到了国外同类产品的先进水平，但报价仅为对方的70%支配，具有较强的市场竞争力。
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