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 干式真空泵又称为干式机械泵是指泵可以在大气的压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排放到大气中去。干式真空泵的产品现在广泛应用，它的应用范围主要是在低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；还有运用在半导体刻蚀工艺上，在这些生产工艺中经常会用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒；除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足这种要求；干式真空泵还可以用在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、包装等方方面面，用干式真空泵防有助于防止有机溶剂造成污染；干式真空泵还可用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

现今，干式真空泵行业使用的大部分干式真空泵都是用油、水或其它流体充当泵的工作介质，可以在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的快速发展以及真空应用领域的不断扩大，以前的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了急需解决的两个问题：第一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下是影响产品的质量好坏、数量多少，还会增加设备的维护成本。第二是由于某些工艺过程中的反应物质使干式真空泵内的介质严重变质，使泵工作不能正常。