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浅谈干式真空泵的主要分类及特点
我国真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或者是其它聚合物等液体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种的作用。而干式真空泵是无油干式机械真空泵，它是指泵能够从大气压力下开始抽气，又能将被抽的气体直接排到大气中去，泵腔内没有油或者其它的工作介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
干式真空泵的主要分类有：双圆裂片式、三叶圆裂片式、组合式、外部压缩型螺杆式、内部压缩型螺杆式。其中双圆裂片式的设计和目前最流行和广泛使用的罗茨泵非常的相似。三叶圆裂片式和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不像双圆裂片式分为两份。
干式真空泵的组合式又叫罗茨+爪式，它的设计是用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。在很多的工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离的作用。
外部压缩型螺杆式的设计中，使用了一对等距螺杆，这就使得内部压缩减到最小，同时使得气体通路最短也最简单。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单，这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性，在很多的清洁工艺中，甚至可以不用氮气。
内部压缩型螺杆式的设计原理基本相似。但是在很多的工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，十分容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或者液化。
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