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    从真空度上看，干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵的极限真空度都很高，无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵来提高极限真空。

    从抽气量来看，无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中，干式螺杆真空泵的型号齐全，可适用大抽气量的工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。

    从稳定性来看，干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率也很低，无油往复真空泵的结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。而且，爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不是一体的，出现故障时需要全部重新拆解装配，反复的装配的话，使得产品的性能和稳定性大大的降低了。

    在特殊处理上看，由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，所以，干式真空泵需要经过特殊的处理才能使用。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可以做防腐处理，一般会选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层来进行处理。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也比较容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取易燃、易爆以及具有腐蚀性的气体。