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干式真空泵的使用范围
相对于普通的无油真空系统来说，干式真空泵能够使工作容积中无油，它给我们的使用带来的益处还是很多的。首先提到的是，干式真空泵的使用增强了泵的可靠性能。因为干式真空泵并不像油密封泵那样容易受到水蒸气或者是尘粒的影响，所以在使用寿命上，干式真空泵要更耐用一些，而且使用中所需要的维护也会相对的较少些。这样还大大的减少了用油的成本问题，还将污染问题降到了最低。
我国真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或者是其它聚合物等液体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种的作用。而干式真空泵是无油干式机械真空泵，它是指泵能够从大气压力下开始抽气，又能将被抽的气体直接排到大气中去，泵腔内没有油或者其它的工作介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
在我国的工业化生产中，很多的行业都有干式真空泵的使用，比如低电化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中还有用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油的污染。
在选择干式真空泵时，及时的了解它的种类和性能，能够很好的帮助我们进行作业。从干式真空泵的性能上看，不同种类的真空泵，其实用性能也有不同。
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