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不同类型的干式真空泵使用上也有不同
干式真空泵由于其自身具有的优越的性能，在我国的很多的领域中，都有大量的使用。特别是一些特殊的行业中，由于生产工艺的需要，更离不开干式真空泵的使用，比如我国的化学工业、医药工业、食品加工业中用到的蒸馏、干燥、脱泡、包装等工序中，为防止有机溶剂造成污染，干式真空泵的使用可以说是帮了一个大忙。另外在低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中以及除半导体工艺以外的某些产生微粒的工艺中，干式真空泵的使用都比较的多。
从各项性能上看，干式真空泵都具有很好的使用性能。其中干式螺旋真空泵、爪式真空泵、无油漩涡真空泵等的极限真空度都很高，这是从真空度上对真空泵作的评价。另外一些极限真空度比较低的真空泵，在使用时还要搭配其它的真空泵进行使用。真空泵使用中，抽气量也有不同，又的真空泵由于内部结构问题，抽气量比较小，只适用于小抽气量的工艺中，抽气量的大小，用户可以根据自身的需要进行选择。
另外从真空泵的稳定性上来看，一般干式螺杆真空泵的性能比较稳定，噪音低，出故障率低，而有的真空泵使用中不仅噪音大，还需要经常的更换滑片。反复装配真空泵的话会降低产品的性能和稳定性。在一些特殊的领域中所使用的干式真空泵都会经过特殊的处理，从而达到不同环境的使用需要。
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