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真空泵使用中有哪些要求
在选择使用干式真空泵时，及时的了解它的种类和性能，能够很好的帮助我们进行作业。从干式真空泵的性能上看，不同种类的真空泵，其实用性能也有不同。在我国的现代化工业生产中，许多的行业都有干式真空泵的使用，比如低电化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中还有用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油的污染。
我国真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或者是其它聚合物等液体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种的作用。而干式真空泵是无油干式机械真空泵，它是指泵能够从大气压力下开始抽气，又能将被抽的气体直接排到大气中去，泵腔内没有油或者其它的工作介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。干式真空泵由于其自身具有的优越的性能，在我国的很多的领域中，特别是一些特殊的行业中，由于生产工艺的需要，更离不开干式真空泵的使用。
干式真空泵在使用中的压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求，在正确适合的场合工作时，真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量；在使用真空泵之前要了解被抽气体的成分，这样才能更好的使用。
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