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不同样式的真空泵使用有哪些不同
我国刚开始的真空行业中使用的大多数机械真空泵都是用油、水或者是其它聚合物等液体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种的作用。而经过不断的研究制造之后，对这一现象进行了改进，这就出现了干式真空泵。干式真空泵是无油干式机械真空泵，它是指泵能够从大气压力下开始抽气，又能将被抽的气体直接排到大气中去，泵腔内没有油或者其它的工作介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
在我国的工业化生产中，很多的行业都有干式真空泵的使用，比如低电化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中还有用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油的污染。在我国的化学工业、医药工业、食品加工业中用到的蒸馏、干燥、脱泡、包装等工序中，为防止有机溶剂造成污染，干式真空泵的使用可以说是帮了一个大忙。
我国现在已经在使用的真空泵主要有双圆裂片式、三叶圆裂片式、组合式、外部压缩型螺杆式、内部压缩型螺杆式等这几种。这几种干式真空泵由于工作原理上存在着差距，所以使用的范围和使用功率等方面也有很多的不同。这种不同点，一般都表现在真空度上、抽气量上、干式真空泵的稳定性上，还有就是对于使用中的特殊处理上。
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