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不同类型的真空泵使用中需要注意的也有很多不同点
从目前我国使用的各种类型的真空泵的各项性能上看，干式真空泵都具有很好的使用性能。其中干式螺旋真空泵、爪式真空泵、无油漩涡真空泵等的极限真空度都很高，这是从真空度上对真空泵作的评价。另外一些极限真空度比较低的真空泵，在使用时还要搭配其它的真空泵进行使用。真空泵使用中，抽气量也有不同，又的真空泵由于内部结构问题，抽气量比较小，只适用于小抽气量的工艺中，抽气量的大小，用户可以根据自身的需要进行选择。
另外从真空泵的稳定性上来看，一般干式螺杆真空泵的性能比较稳定，噪音低，出故障率低，而有的真空泵使用中不仅噪音大，还需要经常的更换滑片。反复装配真空泵的话会降低产品的性能和稳定性。在一些特殊的领域中所使用的真空泵都会经过特殊的处理，从而达到不同环境的使用需要。在选择使用干式真空泵时，及时的了解它的种类和性能，能够很好的帮助我们进行作业。从干式真空泵的性能上看，不同种类的真空泵，其实用性能也有不同。在我国的现代化工业生产中，许多的行业都有干式真空泵的使用，比如低电化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中还有用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油的污染。
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