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干式真空泵的工作原理及优点
干式机械真空泵，又称干式真空泵，是指从大气压开始泵送，将泵送气体直接排放到大气中的机械真空泵。泵室内无油或其它工作介质，泵的极限压力与油封真空泵相同或接近。
干真空泵的工作原理是利用一对螺杆在螺杆泵腔内进行同步高速运行。两个转子、泵体和侧盖组成多个腔室，实现吸排功能。这些室有规律地从真空泵的入口侧移动到出口侧，以便气体在低速涡流中传输。真空泵的连续运行不会改变气体的流向，使气体在一定范围内被细小颗粒夹带并被抽出蒸汽。
干式真空泵工作时，两螺杆之间无直接摩擦，泵腔不需润滑油，机器稳定，产生的声音小。与等距螺杆真空泵相比，变螺距结构的真空泵极限真空度更高，有着良好的间隙设计和连续的压缩方式，能耗更低，变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念，可降低30％的电能消耗，是油封式真空泵良好的替代产品。在半导体工业中，油封真空泵可以用干螺杆泵代替，大大改善了工作环境的质量，进一步提高了产品的质量和性能。
干式真空泵有如下几个优点：清洁环保：工作腔内无其他杂质，可获得清洁真空；真空度高：间隙设计和压缩方式良好；防腐设计：耐腐蚀的性涂层材料，气镇阀装置；冷却效果：采用符合流体动力学的螺旋形冷却水套；节能：变螺距螺杆的节能型设计；成本低：无排污，无污染，无废弃排放处理成本，低维护成本，泵出口回收尾气，低综合成本，低工程消耗成本；运转平稳，标准配置以及配套设施齐全
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