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干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然目前还没有使用，除了价格偏高之外，还有干式真空泵用户不到位，看不到经济效益带来的企业，有了这些不同类型的干式真空泵，我们一直都在渴望能够减小其物理尺寸。
干式真空泵有这么多不同的设计，各有各的特点和优缺点。历史上，使用成本一直是影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到，真空泵的稳定性也应该被考虑在内。因为真空泵意外错误会造成机器使用效率降低，影响晶圆的生产和交货，甚至造成晶圆废料和其他零件的加工损坏。总的来说，如果用户认为耗电量对他来说是很重要的，那么选择一个内部加压螺钉可能是一个不错的选择，而氮含量对他来说是不重要的。但总的来说，对尾气处理的要求越来越严格，减少未来使用的氮气量就显得尤为重要。如果您想要处理各种各样的半导体工艺，而不用一种简单的库存控制泵来改变它们，外部压紧螺丝是很好的选择。根据情况，结合以上所有设计类型的优势必须是理想的选择，但还不可能。 因此，用户需要知道干泵的设计有多种不同的设计类型，然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。 这种选择可以使其使用成本较小化，并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。